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2. 5. AppareillageLes spectromètres classiques comprennent les mêmes éléments (cf. 7. 3. ), qu'ils soientutilisés dans le domaine UV-VIS que dans le domaine IR (cf.
Pour l'étudier, plusieurs méthodes complémentaires sont nécessaires, car on doit regarder des fréquences spatiales depuis le millimètre jusqu'au dixième de nanomètre. Des profilomètres de type mécanique ou optique (interférométrie, microscopies de différents types) ont été développés pour satisfaire ces divers besoins. Methodes spectrometriques d analyse et de caracterisation saint. La microscopie électronique a aussi été utilisée pour les études de surfaces. Beaucoup plus récemment sont apparus un ensemble de techniques de microscopie dites à champ proche, effet tunnel, forces atomique ou magnétique. En fait, dans nombre d'applications, on souhaite non seulement décrire la topographie de la surface mais aussi connaître l' épaisseur d'une couche déposée ou formée, sa nature chimique et celle de l'interface entre la couche de surface et son substrat. Alors que les dépôts par voie électrolytique sont relativement anciens, ceux par évaporation sont plus récents et de plus en plus employés. La microélectronique, par exemple, utilise un grand nombre de matériaux en couche mince dont on doit strictement contrôler les qualités.
L'énergie des photons émis dans cettegamme n'est pas suffisante pour produire des transitions électroniques au sein des matériaux, mais elle peut induire l'excitation des liaisons chimiques entre les atomes. Ainsi, les photonsinfrarouges incidents seront absorbés lorsque l'énergie qu'ils véhiculent correspond àl'énergie d'excitation d'une liaison atomique du matériau, laquelle est fonction del'environnement chimique des liaisons, de la masse des atomes mis en jeu ainsi que de lanature des liaisons (figure III. 9). Methodes spectrometriques d analyse et de caracterisation 2. Par conséquent, à un matériau de composition chimique et de structuredonnées va correspondre un ensemble de modes d'excitation permettant d'identifier lesliaisons chimiques caractéristiques du matériau. Ces modes d'excitation peuvent être calculésà l'aide de la « théorie des groupes » et sont aussi répertoriés dans des tables, facilitant ainsil'identification des liaisons chimiques. Dans le cas présent, les mesures ont été réalisées enmode transmission. La mesure par FTIR en transmission consiste à relever l'intensitélumineuse transmise en fonction de la position du miroir mobile, dont le déplacement defaible amplitude est mesuré au moyen d'un faisceau laser.
Dans notre étude nous avons utilisé la rétro–diffusion (μ–Raman). Le dispositif de Laboratoire Matériaux Optique Photonique et Systèmes CNRS UMR 7132, de l'Université de Metz est présenté sur la figure III. 11. 2. 4. Spectrométrie X à sélection d'énergie (EDX, Energy Dispersive X-ray) Leprincipe de la spectrométrie EDX est de coupler une analyse en énergie et une analysequantitative des photons X émis afin de reporter la quantité de photons reçus au cours del'analyse en fonction de leur énergie. Axe " Génie de. Figure III. 11. Dispositif expérimental de la rétrodiffusion (μ–Raman).